无锡投控集团：尚积半导体12寸PVD及CVD设备顺利交付

近日，协会副会长单位无锡投控集团旗下领航公司在投企业尚积半导体研发生产的12寸PVD及CVD薄膜沉积设备顺利交付国内某头部客户，标志着尚积半导体的产品成功跻身12寸半导体产线。

本次尚积半导体交付的设备配备了高精度温度、压力、功率及气流控制系统，确保沉积过程稳定可靠，成膜质量优异，产品性能、生产效率在行业内处于领先地位，可替代进口设备，并提供更优秀的工艺解决方案。

尚积半导体是一家专业研发、生产半导体国产自研设备的厂商，公司团队在半导体设备领域积累了二十余年的丰富经验，在多个关键技术工艺上有很深的造诣。公司主营设备包括金属溅射沉积(PVD),加强型等离子化学气相沉积(PECVD),等离子干法刻蚀(ETCH)等,主要服务于功率器件、微机电系统、先进封装、化合物半导体、射频等领域的客户。

领航公司2022年投资了尚积半导体。经过近几年发展，公司在半导体产业的多个领域实现薄膜溅射设备的首次国产化突破和进口替代，刻蚀设备、沉积设备陆续通过验证后交付，并获得大量订单，其出色表现也获得资本市场青睐，2023年底公司顺利完成了数亿元规模的B轮融资。