卓海科技登陆新三板：国内规模最大的半导体前道量检测修复设备供应商 已形成14nm制程修复工艺平台

新三板又迎来一家行业龙头企业——国内规模最大的前道量检测修复设备供应商卓海科技（874380.NQ）于今日正式登陆新三板并进入创新层。目前，卓海科技还处于上市辅导之中，辅导机构为海通证券。

卓海科技是一家专注于半导体前道量检测设备领域的企业。前道量检测设备是指，以光、电子束等介质作为主要工具，针对光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备等工艺设备的加工成果，进行关键指标的量测或潜在缺陷的检测，其使用场景覆盖芯片前道生产的几乎全部工序。

目前卓海科技的产品及服务得到了半导体行业知名客户的广泛认可，终端客户覆盖客户 A、客户 B、客户 C、华虹半导体、士兰微、客户 D、华润上华、客户 G 等国内主流芯片产线客户，具备成熟的商业化能力和较强的市场影响力。

创新性方面，卓海科技是国家级专精特新小巨人企业。截至公开转让说明书签署日，公司已取得专利 70 项，其中发明专利 30 项，另有 15 项专利正在申请中，其中发明专利 15 项；此外，公司还取得了软件著作权 16 项。

业绩方面，2022年至2023年前三季度，公司营收分别为3.14亿元，1.93亿元，归母净利润分别为1.19亿元，6872.51万元。

国内规模最大的前道量检测修复设备供应商 

已形成14nm制程修复工艺平台

卓海科技公司在前道量检测设备领域深耕十余年，具体来说，目前公司产品以前道量检测修复设备为主，同时也致力于前道量检测设备及核心组件的自主研发和芯片产线运维工作。

在修复设备领域， 卓海科技是国内最大的前道量检测修复设备企业，已形成最高可达 12 英寸、 14nm 制程的修复工艺平台，为芯片的安全稳定生产提供了有效保障。近年来，卓海科技不断开展与原厂修复部门的竞争，市场占有率持续提升，已由 2018 年的 2.07%增长至 2023 年的7.73%。

在自研设备领域， 卓海科技已经完成了应力测量设备、 方块电阻测量设备两类自研整机设备的研发，相关技术指标达到国际原厂的同类产品水平，并已经销售给国内多个知名芯片产线客户，实现自研产品的商业化。

同时，卓海科技持续进行核心组件的研发和供应链的培育，已形成高重频脉冲激光器、高压电源装置、精密传输系统等突破成果，不断提高技术水平。

例如对缺陷检测设备的核心组件-高重频脉冲激光器而言，卓海科技在 60nm 制程节点已实现对应型号的规模量产及销售；在40nm 制程节点已通过技术验证，正在进行研发样机转产测试；在 28nm 制程节点已通过技术验证， 正在进行研发样机制备。公司正在开展无图形晶圆缺陷检测设备、薄膜膜厚测量设备的自主研发攻关，预计 2024 年形成样机并进行技术验证。