中科英智：恒运昌今日科创板隆重上市，盘中涨超323%

2026年1月28日，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（以下简称恒运昌）在上交所科创板实现上市，股票代码【688785】。

恒运昌发行价为92.18元/股，发行市盈率为48.39倍，开盘价为310元/股，涨幅达236%。截至9点50分，其股价最高上涨323%至390元/股，市值为264亿元。

以资本远见，锚定核心“硬卡替”

等离子体射频电源系统是半导体设备零部件国产化最难环节之一，直接决定设备工艺能力、产品良率，国产化率极低。正是洞察到这一行业痛点，中科英智精准切入恒运昌，以专业资本视角扶持具备核心技术潜力的本土企业，展现了在半导体核心零部件领域的前瞻性研判能力与破局担当。

中科英智始终坚持围绕国家战略需求，聚焦半导体、高端装备等关键领域的“硬科技”投资。恒运昌的成功上市，不仅是企业自身发展的飞跃，更是中科英智在“硬卡替”投资方向上战略定力的生动体现。未来，中科英智将继续深耕优质硬科技企业，共同推进中国半导体核心环节的自主创新与产业升级，以资本之力助推科技强国建设。

以自主创新，引领射频电源核心环节

恒运昌成立于2013年3月，是国产等离子体射频电源系统行业龙头企业、国内极少数实现半导体级等离子体射频电源系统量产的企业，获评国家专精特新重点“小巨人”企业。

历经十年，恒运昌先后推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列等离子体射频电源系统，打破了美系两大巨头MKS和AE在国内长达数十年的垄断格局。根据弗若斯特沙利文统计，2024年，中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统的国产化率不足12%，恒运昌在国产等离子体射频电源系统厂商中的市场份额位列第一。恒运昌是首家出货过亿元和首家实现等离子体射频电源系统（支持半导体先进制程）量产的国产厂商，产品系列已交付拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米等国内头部半导体设备商，并配套中芯国际、长江存储等国内晶圆厂。

中科英智

无锡中科英智投资管理有限公司是江苏物联网研究发展中心发起设立的基金管理平台，公司聚焦集成电路、智能制造、新能源等高科技领域，以早期为驱动力，布局成长期、Pre-IPO项目，围绕创新链，产业链，资本链，孵化和投资了一批行业标杆项目，投资团队累计孵化和投资了150余家，基金LP包括众多地方政府、产业集团、上市公司等。